Vorrichtungen, Schablonen und Folien

NTA E310

Vorlage für die Verarbeitung mehrerer Wafer

Die E310-Trägerfolie ist in stark alkalischen oder sauren chemischen Prozessen beständig. Die E310-Folie ist eine unserer gering komprimierbaren Folien, was zu einer gleichbleibenden Ebenheit während der gesamten Lebensdauer der Schablone führt. Einfach zu verwendende Alternative zur Wachsmontagetechnik, mit einfacher Installation und Reinigung. Ideal für Kunden, die Siliziumkarbid (SiC)-Wafer polieren.

Highlights

Einfache Anwendung: druckempfindlicher Kleb- stoff auf den Schablonen ermöglicht eine einfache Anbringung auf den Trägerplatten

Kein FCKW: Schablo- nensysteme sind umweltfreundlich und ungefährlich

Kein Wachsentfernungs- schritt erforderlich: es werden keine Chemikalien zum Halten der Wafer verwendet

Produkteigenschaften

Ausgangsmaterial

Fiberglas

Haltbarkeit

12 Monate

Typische Anwendungen

Siliziumkarbid

Vorlagenvariante Kompression Abweichung
NTA CHOIS 9.01 0.053
NTA DF200 10.60 0.065
NTA E310 5.75 0.041
NTA DF200 3.45 0.016

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Adam Nielsen

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