Ultraschall-/Megaschall-Reinigungsmittel sind so konzipiert, dass sie die auf den Substratoberflächen freigesetzte Kavitationsenergie erhöhen, was zu einer effektiveren Reinigung führt. Bei wirtschaftlichem Verdünnungsverhältnis entfernen diese Produkte leichte organische Stoffe und Partikel im Submikronbereich. Sie werden in der Regel zur Entfernung von Rückständen nach dem Schleifen, Trennen, Läppen, Ätzen und Polieren verwendet.