Kühl- & Schmiermittel

VECTOR HTS

Läpp- und Polieradditiv für Halbleitermaterialien

VECTOR HTS Produkte sind biologisch abbaubare, viskose Polymer/Tensid-Mischungen, die für die Verwendung mit Aluminiumoxid (entweder vom Typ PWA oder FO) und deionisiertem Wasser formuliert wurden, um eine Suspension für das Läppen zu bilden. Die VECTOR HTS-Produkte wurden in erster Linie für die Verwendung beim Läppen von Siliziumwafern entwickelt. Sie dispergieren und suspendieren das Schleifmaterial über einen längeren Zeitraum mit relativ geringen Veränderungen der physikalischen oder chemischen Eigenschaften. Die Produkte sind für alle Arten von Läppplatten geeignet und erzielen besonders gute Ergebnisse bei gezackten oder gerillten Platten. Die HTS-Produkte unterscheiden sich chemisch und physikalisch, was zu Unterschieden in der Benetzung, Filmstärke und Viskosität führt. Lassen Sie sich ein HTS-Produkt von einem von Intersurface Dynamics geschulten Vertriebsingenieur spezifizieren. Einige der Variablen, die sich auf die Wahl des HTS-Produkts auswirken, sind: Art der Läppplatten, Art des Pumpensystems, Marke der Maschine, Betriebsdruck, Art des Schleifmittels. Die Wahl von VECTOR HTS Produkten bietet dem Anwender genau die richtige Chemie, um optimale Ergebnisse bei einem Läppprozess zu erzielen.

Highlights

Erzeugt flachere Wafer

Erhöht die Schnittrate

Erleichtert die Reinigung nach dem Läppen

Verhindert Verschmut- zung der Wafer

Reduziert die Beschädi- gung der Wafer

Hilft, Kratzer zu vermeiden

Liefert konsistentere Ergebnisse

Produkteigenschaften

Trägerflüssigkeit

Wasser

Haltbarkeit

24 Monate

Typische Anwendungen

Galliumarsenid, Germanium, Saphir, Silizium, Siliziumkarbid

Suspensionszusatz Trägerflüssigkeit Verdünnungsgrad pH Wert Spezifisches Gewicht
VECTOR HTN Wasser 20:1 9.0 1.00
VECTOR HTS Wasser 25:1 9.0 1.00
VECTOR HTG Wasser 75:1 9.8 1.03
VECTOR HTI Wasser 400:1 12.3 1.02

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Adam Nielsen