PURE-DS-RT Suspensionen sind vollständig wasserlöslich, trocknen aber nicht an der Luft. Die hervorragenden Schmiereigenschaften von PURE-DS-RT erlaubt das Bearbeiten mit hohem Arbeitsdruck und ermöglicht somit eine hohe Materialabtragsrate. PURE-DS-RT-Suspensionen sind ideal für das Rapid Thinning von SiC-Wafern und harten Materialien (z. B. Saphir).
Es sind sechs spezifische Formulierungen für verschiedene Anwendungen erhältlich.
Typ | Werkstücktyp | Werkstückgrösse | Padtyp | Anwendung |
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PURE-DS-RT-1 | SiC (4H-N) | 150 mm, 200 mm | IRINO-PROSiC | SiC Rapid Thinning, High-Performance |
PURE-DS-RT-2 | SiC (4H-N) | 150 mm, 200 mm | IRINO-PROSiC | SiC Rapid Thinning, High-Quality |
PURE-DS-RT-3 | Saphir, A-plane, C-plane | 30 mm, 50 mm | IRINO-PRO-H | Sapphire Rapid Thinning, High-Performance |
PURE-DS-RT-4 | Saphir, A-plane, C-plane | 30 mm, 50 mm | IRINO-PRO-M | Sapphire Rapid Thinning, High-Quality |
PURE-DS-RT-5 | Eisenhaltige Metalle | 25 mm, 40 mm, 50 mm | IRINO-PLUS-H | Eisenhaltige Metalle, Rapid Thinning High-Performance |
PURE-DS-RT-6 | Eisenhaltige Metalle | 25 mm, 40 mm, 50 mm | IRINO-PLUS-M | Eisenhaltige Metalle, Rapid Thinning High-Quality |
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