PF800 wurde als Alternative zum ursprünglichen DF200-Material entwickelt.
Es ist ein fortschrittlicher neuer Standard, der in vielen Branchen Anwendung
findet, z. B. in der Halbleiter- und Optikindustrie sowie bei Spezialsubstraten.
Die poromere Folie PF800 ist so geschliffen, dass sie eine offene, schlauchartige
Porenstruktur aufweist. Diese Struktur wird komprimiert, um Ebenheitsschwankungen
sowohl auf der Rückseite des Wafers als auch auf dem Polierkopf
selbst zu absorbieren. Darüber hinaus kehrt sie über einen langen Zeitraum zu
ihrer ursprünglichen Dicke zurück. Dadurch weist die Folie während ihrer gesamten
Lebensdauer eine höhere Ebenheit auf. Schliesslich bietet die Folie hervorragende
Ebenheitsergebnisse, wenn sie in einer Schablone verwendet wird: Die
Wafer werden durch die Wasserspannung an ihrem Platz gehalten und können
sich immer noch in der Tasche drehen.
Bei der Verwendung als Endpoliertuch sorgt die PF800-Konstruktion für eine
hervorragende Oberflächengüte, Lebensdauer und Ebenheit.
PF800 wird auch häufig als Dichtungsmaterial oder als Trägerfolie verwendet.
Es lässt sich leicht auf jede beliebige Grösse zuschneiden. Zusätzlich können
auch lasergeschnittene Vakuumlöcher angebracht werden.